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真空鍍膜

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真空電鍍掉膜有那幾個(gè)方面？


發(fā)布時(shí)間：2019-06-17 11:53:26

      真空電鍍時(shí)產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復(fù)雜。處理起來很棘手，可以考慮從以下幾個(gè)方面排除：

1、表面清潔度

產(chǎn)品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長點(diǎn)。

真空電鍍掉膜有那幾個(gè)方面？


2、清洗過程中的問題

鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。


3、工藝的問題

工藝參數(shù)是否有變動(dòng)，在鍍膜時(shí)間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。


4、靶材的問題

鈦靶是否中毒，檢查和更換。


5、真空腔是否漏氣

進(jìn)行一次撿漏。


6、產(chǎn)品表面氧化

氧化的原因很多，可以自行判斷處理。
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