一、真空鍍膜器材污染物的來源及清潔處理

真空鍍膜器材由許多不同的零件組成，它們都是經(jīng)過各種機械加工完成得，例如車、銑、刨、磨、鏜、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空鍍膜設(shè)備的極限壓力和性能穩(wěn)定性。此外，污染物的大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環(huán)境中，這些氣體也要被釋放出來，構(gòu)成了限制真空鍍膜設(shè)備極限壓力的因素。為此，零件組裝前必須清除掉污染物。

二、真空鍍膜器材真空系統(tǒng)地清洗處理

1、油擴散泵真空系統(tǒng)地污染與防治

油擴散泵真空系統(tǒng)是使用最廣泛的真空系統(tǒng)，其獲得真空度范圍為1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油擴散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成的各類真空鍍膜設(shè)備，常見的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原來的極限壓力水平。真空度抽不上去的原因需要仔細分析，可能是活動密封處松動、焊縫漏氣、真空泵或真空閥門等元件損壞等原因所導(dǎo)致。此外，真空室內(nèi)壁的油蒸汽污染，真空工藝過程各種污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵進行清理。

2、超高真空系統(tǒng)地烘烤與清洗

由濺射離子泵和鈦升華泵組成的真空系統(tǒng)是目前獲得清潔超高真空的主要抽氣手段，能獲得低于1.3*10-3Pa的壓力。中小型真空鍍膜設(shè)備真空系統(tǒng)以濺射離子泵作為主泵，大型真空系統(tǒng)以鈦升華泵做主泵。超高真空系統(tǒng)要求真空室內(nèi)壁相當(dāng)干凈，零件表面粗糙度要求高，材料放氣量要小。真空室零件要進行嚴格地清潔處理，不要用手接觸零件表面。真空室的漏率也要嚴加控制。除此外，還要對真空室進行烘烤。