是真空鍍膜中真空系統(tǒng)的工作原理是什么？

真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)。

1,粗抽泵(統(tǒng)稱機(jī)械泵)他的排氣口，直接排放到大氣，但極限(能力)小。范圍(1E0~大氣壓)。

2，羅茨泵，必須在排氣口接一個機(jī)械泵，工作范圍(5E-2~1000Pa),如果沒達(dá)到工作范圍(1000Pa)以上的真空度，運(yùn)轉(zhuǎn)羅茨泵，使負(fù)載大，燒壞羅茨泵的。

3，分子泵(油擴(kuò)散泵)：以擴(kuò)散泵為例，工作范圍(1E-7Pa~5pa)，排氣口壓力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于，擴(kuò)散泵不起作用，還會使擴(kuò)散泵油氧化。

4，粗抽閥，是機(jī)械泵開啟后，開啟粗抽閥。

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